会社情報

ボッシュMEMS技術の源は1994年以降、幾世代に渡って発表されてきた自動車用センサに遡ります。集積化された圧力センサを皮切りに製品群は急速に拡がりました。 今日多くのアプリケーションでボッシュのMEMSプロセス・プラットフォームが採用されています。 卓越したプロセス技術とコアとなるMEMS技術の最適化を常に追い求めています。 豊富な実績は研究開発部門など大きな財産となっているのです。



慣性センサ
ボッシュの慣性センサは表面マイクロマシニングをベースにしています。 大量生産スループットの要請を満たすため、犠牲エッチングやRIEのような主要手順を発展させてきました。  

圧力センサ
薄膜特性および高信頼性バッチ・プロセス・コンセプトを最適化することにより、バルクマイクロマシニング技術で圧力センサを実現しました。