경험
Bosch의 MEMS 경험은 1994년 이후 생산된 여러 세대의 자동차 센서로 거슬러 올라갑니다. 통합된 압력 센서로 시작한 제품 포토폴리오는 빠르게 다양화되었습니다. 오늘날 수 많은 응용 분야가 Bosch의 MEMS 프로세스 플랫폼에 기반하고 있습니다. Bosch 프로세스 엔지니어링은 핵심 MEMS 기술의 개발과 지속적인 최적화에 큰 관심을 기울이고 있습니다. R&D 부서에서 이러한 경험을 통해 축적된 대규모의 데이터를 사용할 수 있습니다.
관성 센서
Bosch의 관성 센서는 표면 미세 기계 기술에 기반을 두고 있습니다. Sacrificial 에칭 또는 DRIE 에칭과 같은 핵심 절차를 개발하여 대량 생산 요구를 충족시킵니다.
압력 센서
압력 센서는 최적화된 박막 속성과 신뢰할 수 있는 배치 프로세스 개념을 사용하는 체적 및 표면 미세 기계 가공 기술을 통해 구현되었습니다.
관성 센서
Bosch의 관성 센서는 표면 미세 기계 기술에 기반을 두고 있습니다. Sacrificial 에칭 또는 DRIE 에칭과 같은 핵심 절차를 개발하여 대량 생산 요구를 충족시킵니다.
압력 센서
압력 센서는 최적화된 박막 속성과 신뢰할 수 있는 배치 프로세스 개념을 사용하는 체적 및 표면 미세 기계 가공 기술을 통해 구현되었습니다.
