MEMS 각속도 센서

Bosch는 ESP 시스템에서 사용되는 것을 비롯하여 자동차 응용 분야의 기계적 자이로스코프 센서로 유명합니다.
가전제품 시장의 경우 각속도 센서 제품군이 다음 항목과 같은 응용 분야를 강화시키는 상품으로 각광받고 있습니다.

 

  • 내비게이션
  • 이미지 안정화
  • 게임

감지 요소는 미세 기계 가공 기술을 사용하여 제조됩니다. 칩 평면의 각속도는 기계적 자이드로의 원리를 적용하여 용량적으로 감지됩니다. 측정 효과를 얻으려면 감지 부피는 평면의 회전 진동이 되어야 합니다. 감지 요소의 대칭과 회전 점에 있는 하나의 중앙 현가 장치로 인해 센서는 변형 가속도에 대한 낮은 민감도를 가집니다.