家用器具

振动监控
MEMS加速传感器能探测盗任何细微运动并加以控制，因此可以用来节约电量或防止振动造成的意外伤害。
温度
MEMS传感器可以感知温度并控制设备，例如如果被监测目标过热就可发出警报，或简单地用来监测周围温度，例如用来在户外活动中分析天气参数提示天气状况。
液位测量
水库中的水位可以通过测量水柱压力得出。