经验

博世的MEMS生产经验可以追溯到1994年以来无数代汽车用传感器，由最早的集成压力传感器开始，这类的产品日新月异并衍生出无数种类型。如今，有相当一部分应用技术都还是建立在博世MEMS生产工艺基础上的。我们工艺工程部门一直以来都致力于开发并持续优化MEMS的核心技术，因此我们的研发部门积累了大量的经验。



惯性传感器

博世的惯性传感器基于表面微处理技术之上，关键的工艺如牺牲蚀刻法或深度反映离子蚀刻等都不断开发以便顺应大规模生产需要。



压力传感器

由于采用了根据优化薄膜特性和可靠的批处理概念实现的表面微处理技术，压力传感器现在已经实现了量产。