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这种感应元件采用的是微加工技术制造，通过机械陀螺仪的相关原理可以使用电容探测感应到芯片平面上的任何一个角速度变化。为了实现测量功能，感应物质被压上一个面内旋转振荡，因为感应物质的对称分布和支点上唯一一个中央悬挂，传感器对于移动加速度的感应程度很低。