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不用应用领域的MEMS加速度传感器

三轴加速度传感器系列是专门针对移动电话、消费电子产品以及卫生、物流和安全系统领域内减少耗电、提升功能的要求应运而生。所有三轴加速计都采用微小超薄的QFN或LGA封装技术封装。传感器具有的中断功能则是对于移动设备应用如电池的节电模式或自由落体感应而特别开发。 
 
 表面微加工传感器元件和ASIC均以标准QFN或LGA技术封装。

•  加速度检测范围从2g到200g
•  可提供1轴、2轴和3轴传感器
•  超低能耗
•  传感器和ASIC完全自主检测功能
•  温度范围在-40..+ 85°C（或更高）
•  外部组件更少

博世自1990年就已经开始生产加速度传感器，在汽车领域的应用包括安全气囊防护系统、电子稳定程序ESP、防抱死系统ABS，以及针对报警系统、坡道辅助系统和主动悬挂系统中的倾角测量等。

此类系统最早采用压电陶瓷或霍尔设备作为其感应元件。随着新增功能和可靠性的低成本技术的应用，1997年开始实现了新一代产品的量产。此后，一共生产了超过1.3亿个微机电加速计。这些感应元件均采用了博世自主研发的表面微加工技术，该工艺采用厚多晶硅层实现移动式结构，质量块和电极均由晶圆水平上的体硅微机帽所覆盖。且在标准SMD封装水平上对传感器和特别设计的ASICs进行了组装。所有上述传感器的感应均采用电容检测原理。

 

博世传感技术有限公司的模拟三轴加速度传感器能够提供+- 4g加速度范围的三向输出信号。除了x、y和z向输出信号外，客户还可以选择自由定义一个补充输出引线多路轴向。
由于具备了仅有200µA的超低能耗和唤醒功能，该传感器是测量倾角、运动、冲击和振动等应用的最佳选择，例如高级游戏控制台和各种移动设备等。

博世传感技术有限公司推出的数码加速度传感器标志着该领域新一代产品的诞生。
通过对参数和控制的设置，完全可以根据用户特定应用调整传感器的功能和性能。 传感器的尺寸仅3 mm x 3 mm，高度仅0.9 mm，能耗极低，只有200 µA。
因其卓越的通用性，可以同时实现多项功能，并且具有高级动力管理系统，尤其适合移动设备的应用。